熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

廠家：德國蔡司公司

型號：Zeiss Sigma HD

主要技術(shù)性能指標(biāo)：

二次電子像分辨率：15 kV時1nm

背散射像分辨率：15 kV時2nm

探針電流：4pA～20 nA 連續(xù)可調(diào)

放大倍率：10 ～ 1000,000倍

樣品室尺寸：左右內(nèi)徑≥355 mm,，可容納直徑樣品不低于250mm

能譜儀元素分析范圍Be4—U94,，分辨率MnKa優(yōu)于127eV,，C Ka優(yōu)于56eV,，F Ka優(yōu)于65eV（20000CPS）

應(yīng)用領(lǐng)域：

該設(shè)備主要用于金屬材料等導(dǎo)體,，半導(dǎo)體,，陶瓷,、粉末等不導(dǎo)體材料的檢測,可以對金屬及不導(dǎo)電樣品進(jìn)行直接的超高分辨微觀形貌觀察和微區(qū)元素分析,。

收費標(biāo)準(zhǔn)：

注：本收費標(biāo)準(zhǔn)從2015年10月1日開始執(zhí)行,，收費標(biāo)準(zhǔn)方案解釋權(quán)歸洛陽理工學(xué)院材料科學(xué)與工學(xué)院材料測試實驗中心,。